fib分析与sem分析区别

这个问题的参考

fib带有sem功能

fib另外的功能就是微加工。

sem是电子束成像原理。

fib中带有电子束成像，也可以离子束成像（一般不用，对样品表面形貌损伤太大）。

如果只观察形貌的话，用sem即可，fib的电子束成像方面和sem都一模一样。